在（高）真空技术的情况下进行泄漏测试的情况下，使用测试气体来检测大量不同测试样本上的泄漏。泄漏测试属于无损测试方法。泄漏测试在工业制造和质量控制中大规模使用。

在真空系统中，通过用泵抽空真空装置并将质谱仪悬挂在泵后面，将氦气用作最具扩散性的泄漏检测气体。如果现在设备 - 在外部，仅在本地发现泄漏 - 用氦气吹扫，在质谱仪的帮助下可以检测到可能的氦气进入设备并且可以测量泄漏率。泄漏是产品或工程系统中的一个洞，可以进出固体，液体或气体。泄漏可能导致整个技术系统的故障。泄漏量的量度是泄漏率。

使用测试气体的泄漏测试基于测试对象和检测装置之间的压力差的产生。这可以通过增加或减少样品一侧的压力与另一侧相比或压力降低和压力增加的组合来实现。在泄漏的情况下，从高压侧到低压侧产生恒定的气流。如果在低压侧存在用于流动气体的检测器，则可以定性或定量地检测泄漏。

测试气体氦在测试气体方法中占主导地位，因为它仅在约5ppm的低自然浓度下发生。作为惰性气体，它在正常条件下不会发生任何化学反应，因此非常可靠。在测试期间，可以高选择性地检测它并且没有交叉敏感性。在这种情况下，所使用的检测装置是永久地设定为氦质量4的质谱仪，其与相关的气体分配和真空系统一起形成具有简单操作的紧凑型泄漏检测器。

质谱仪的工作压力<10-4毫巴。在商业泄漏检测器中，质谱仪也总是与真空系统组合，该真空系统至少包括机械前级泵，高真空泵，压力计和一系列压力控制阀。现有技术也是一种集成的泄漏测试，利用该测试可以校准泄漏检测器。

在泄漏测试之前，必须确保测试样品清洁干燥。蒸汽或液体残留物的除气会延长泵送时间，从而延长测试时间。添加的杂质会缩短仪表的使用寿命。这种快速灵敏的泄漏检测方法由合格人员在内部进行。